JZ-SH系列手动探针台
 
特点
 
舒适大手柄驱动CHUCK
 
可以升级做射频测试
 
20X~4000X 光学显微放大
 
无后座力移动
 
针座平台可以快速升降便于wafer取放
 
针座平台可以微调升降便于探针卡再定位
 
规格
 
真空吸附型Chuck
8" 不锈钢
 
Chuck X-Y轴行程
8" x8"
 
Chuck 旋转角度
0~360 度
 
针座平台上下粗调行程
6mm   通过升降杆调整
 
针座平台上下细粗行程
25 mm 通过旋转手轮
 
针座平台
可以放置8个针座
 
显微镜X-Y轴行程
2" x2"
 
需求
 
电力
220 VAC, 60Hz
 
真空
-250 mmHg, 7 liter/min
 
尺寸
 
840mm长 x 660mm宽 x 700mm高(带显微镜)
 
重 180 Kg(带显微镜)
 
可选附件
 
Chuck快速拉出装置
 
显微镜倾仰装置
 
激光修复
 
探针卡夹具
 
加热台
 
高低温样品台(-80-200℃)
 
防震桌
 
显微镜暗场 / Normarski 检测
 
带真空底座的活动Chuck
 
光强/波长测试接口部件
 
射频测试探头和线缆
 
有源探头
 
 低电流/电容测试
高压测试/大电流测试
 
CCD视频系统
 
封装器件夹具
 
PCB板夹具